PSG atrapamiento de contaminantes metálicos durante la difusión de fósforo en línea del horno de la correa en si wafers cristalino

Presentado en IEEE - 2010 --- Hay un creciente interés en adoptar la difusión en línea a escala industrial. En este artículo se explora una antigua preocupación de contaminación metálica de las cintas transportadoras usando el análisis SIMS.

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