PSG piégeage des contaminants métalliques au cours de la diffusion en ligne du phosphore dans le four à bande dans les wafers cristallins
Présenté à l'IEEE - 2010 --- Il y a un intérêt croissant pour l'adoption de la diffusion en ligne à l'échelle industrielle. Dans cet article, une vieille préoccupation de contamination des métaux par les courroies transporteuses est explorée en utilisant l'analyse SIMS.
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