Le système automatisé de chargement en porte-à-faux des fours horizontaux à plusieurs bateaux S-300 est un système peu coûteux conçu pour aider l'opérateur de la fab à charger et à décharger en toute sécurité les bateaux de plaquettes sur tous les cantilevers d'une pile de four. Les opérateurs placent les bateaux sur la plate-forme de chargement à une hauteur ergonomique correcte, ce qui évite aux opérateurs de devoir grimper sur des échelles ou d'effectuer le mouvement répétitif de chargement des bateaux de plaquettes sur la pagaie en carbure de silicium. Le temps de chargement est généralement inférieur à 3 minutes. Le contrôle et la configuration se font par l'intermédiaire d'un écran plat tactile couleur unique.
Le S-300 se monte directement sur la station de chargement et est compatible avec n'importe quel four et système en porte-à-faux. Grâce à des roulettes et à des loquets de déconnexion rapide, le S-300 peut être rapidement retiré de la station de charge pour permettre la maintenance.
Bruce Technologies offre également les solutions d'automatisation suivantes :
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Chargeurs de bateaux - chargement de four en porte-à-faux
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Machine de transfert de plaquettes
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Shuttle (intégration du S300 à la machine de transfert de wafers)
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Fermetures de portes pour CVD ou ATM
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Système en porte-à-faux fermé Atmoscan
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