S-300mm熔炉自动化--BTU

S-300mm 熔炉自动化

S-300 自动多船水平炉悬臂装载系统是一种低成本系统，旨在帮助晶圆厂操作员安全地将晶圆船装载到炉堆上的所有悬臂。操作员将船只放置在符合人体工程学的正确高度上，无需操作员爬梯子或执行将晶圆船装载到碳化硅桨上的重复运动。加载时间通常小于 3 分钟。控制和设置是通过单色平板触摸屏。

S-300 直接安装在负载站上，与任何熔炉和悬臂系统兼容。使用脚轮和快速断开闩锁，S-300 可快速从装载站上拆下，以便进行维护。