블로어 고장 감지 업그레이드
대류의 실시간 모니터링을 통해 수율 손실 감소
송풍기 모니터링 옵션은 각 가열 구역의 컨벡션 전달 시스템을 실시간으로 모니터링합니다.
이는 차압 스위치로 구역 정압을 모니터링하여 수행됩니다. 송풍기 시스템이 고장 나거나 구역의 최저 제한 압력 아래로 떨어지면 알람이 트리거됩니다. 이 시스템은 가열 구역만 모니터링합니다. 이 시스템은 오븐 패널 시스템 뒤에 있는 WINCON™ 운영 소프트웨어와 LED 패널을 통해 고장을 보고합니다.
- 전기 대신 대류 소스 모니터링
- 일관성 모니터링
- 조기 발견으로 인한 장애로 인한 기판 폐기 감소
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기대할 수 있는 사항
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