브루스 테크놀로지의 디퓨전 퍼니스

반도체 애플리케이션을 위한 수평 튜브 용광로

브루스 테크놀로지스는 Amtech 그룹 산하 BTU 인터내셔널의 사업부로 , 매사추세츠 주 웨스트포드에 공동 소재하고 있으며 반도체 확산로, 반도체 애플리케이션용 수평 튜브 용광로 전문 기업입니다.

브루스 BDF-시리즈 수평 용해로는 고객에게 입증된 신뢰성, 최첨단 열 기술, 정밀 로딩, 우수한 처리량 성능, 소유 비용(COO) 절감 및 전 세계 조직의 지원을 제공합니다.

업계에서 가장 신뢰할 수 있는 수평 튜브 용광로로 알려진 브루스 테크놀로지스는 100~300mm 웨이퍼용 수평 용광로 모델을 제공합니다.
용광로의 기능을 더욱 향상시키기 위해 브루스 테크놀로지스는 반자동 및 완전 자동 로딩 시스템을 포함한 다양한 시스템 옵션을 제공하여 완벽한 시스템 유연성을 제공합니다.
브루스는 성능을 극대화하고 소유 비용을 최소화하도록 특별히 설계된 다양한 수평 튜브 퍼니스 업그레이드를 제공합니다.

30년 이상의 OEM 경험을 보유한 브루스는 모든 유형의 확산로 장비 업그레이드를 위한 첫 번째 선택입니다. 기존 장비 설치 기반과 신규 및 리퍼브 수평 확산로를 통해 고객을 지원하기 위해 최선을 다하고 있습니다.

또한 (1) 중고 브루스 확산로를 취급하는 구매자, 리셀러 및 리퍼브 하우스와 (2) 모든 수평로 OEM에 Atmoscan 및 자동화 제품을 공급합니다.