差分炉由Bruce Technolgies公司提供。

用于半导体应用的水平管炉

透明布鲁斯扩散炉

布鲁斯技术公司已成为BTU 国际公司的一部分。

布鲁斯技术公司是BTU 国际公司在Amtech 集团 内的一个分部两家公司位于马萨诸塞州韦斯特福德,布鲁斯技术公司专门从事半导体扩散炉、半导体应用水平管式炉的生产。

布鲁斯技术公司已向全球交付了近 6,000 台卧式炉管,是数字控制卧式炉领域公认的行业领导者。

布鲁斯 BDF 系列卧式窑炉为客户提供久经考验的可靠性、最先进的热处理技术、精确的装料、卓越的吞吐性能、更低的拥有成本 (COO) 以及全球组织的支持。

  • 作为业内最可靠的水平管式炉,布鲁斯技术公司提供适用于 100 - 300 毫米晶片的水平炉型号。
  • 为了进一步提高窑炉的性能,布鲁斯技术公司提供了一系列系统选项,包括半自动和全自动装载系统,以实现系统的全面灵活性。
  • 布鲁斯提供各种卧式管式炉升级产品,这些产品专门用于最大限度地提高性能和降低拥有成本。

凭借 30 多年的 OEM 经验,布鲁斯始终是您进行各类扩散炉设备升级的首选。我们致力于为现有的设备安装基地和客户提供新的和翻新的水平扩散炉。


我们还向 (1) 从事二手布鲁斯扩散炉交易的买家、转售商和翻新商 (2) 任何水平炉原始设备制造商提供我们的 Atmoscan 和自动化产品。

布鲁斯标识-透明小号
  • 布鲁斯扩散炉(BDF)的OEM
  • 全球售出超过 1000 台熔炉
  • 超过30年的经验
  • 高可靠性
  • 低拥有成本

下面列出的是一些可用的改装样本。如需了解更多详情,请联系布鲁斯技术代表。

  • 新的 BDF 扩散炉
  • 已使用和翻新的 BDF 扩散炉
  • 完成熔炉重建
  • 晶圆尺寸升级
  • 流程转换
  • 热控制增强功能
  • 船载器 + 晶圆装载升级
  • 控制系统转换
  • 气体分配修改
  • 熔炉自动化解决方案
  • 更换加热元件
布鲁斯炉控制器

布鲁斯在该行业拥有四十多年的经验,能够满足您当前的需求并引领先进技术的发展。 我们的制造中心位于北美,经验丰富的专业人员遍布世界各地,我们的团队可随时为您的设备、改装和 Apex 要求提供帮助。

了解布鲁斯技术扩散炉的更多信息

请访问布鲁斯科技网站或发送电子邮件至btuBruceTechnologies@amtechsystems.com。