差分炉由Bruce Technolgies公司提供。
用于半导体应用的水平管炉
布鲁斯技术公司已成为BTU 国际公司的一部分。 布鲁斯技术公司是BTU 国际公司旗下的一个部门。 Amtech 集团。 这家公司位于马萨诸塞州比勒里卡市,Bruce Technologies专门从事半导体扩散炉和用于半导体应用的水平管式炉。
-
布鲁斯扩散炉(BDF)的OEM
-
全球售出超过 1000 台熔炉
-
超过30年的经验
-
高可靠性
-
低拥有成本
Bruce Technologies 在全球交付了近 6,000 个水平炉管,是数字控制水平炉的常设行业领导者。Bruce BDF 系列水平炉为客户提供久经考验的可靠性、最先进的热技术、精密装载、卓越的吞吐量性能、更低的拥有成本 (COO) 以及全球组织的支持。
被称为业内最可靠的水平管式炉,布鲁斯技术公司提供用于100-300毫米晶圆的水平炉型号。为了进一步提高炉子的性能,布鲁斯技术公司提供了一系列的系统选项,包括半自动和全自动的装载系统,以实现整个系统的灵活性。
布鲁斯提供各种卧式管式炉的升级,这些升级是专门为最大限度地提高性能和减少拥有成本而设计的。凭借30多年的OEM经验,布鲁斯仍然是您进行各种类型的扩散炉设备升级的首选。我们致力于用新的和翻新的水平扩散炉来支持我们现有的设备安装基地和客户。我们还为(1)经营二手布鲁斯扩散炉的买家、转售商和翻新屋提供服务,(2)为任何水平炉OEM提供我们的Atmoscan和自动化产品。下面的列表代表了一个可用的改造样本。有关其他细节,请联系您的布鲁斯技术代表。
Bruce 拥有超过 40 年的行业经验,可满足您当前的需求并引领技术发展。 凭借我们在北美的制造中心以及遍布世界各地的经验丰富的专业人员,我们的团队可协助您处理您的设备、转化和 Apex 请求。
要了解有关布鲁斯技术扩散炉的更多信息,请访问 布鲁斯科技网站 或发送电子邮件给我们 btuBruceTechnologies@amtechsystems.com.