适用于 Bruce 扩散炉的 OEM 替换用加热芯
让我们的专家为您的系统找到合适的部件
如果您使用的是 Bruce 水平对流炉，请务必选用由该设备设计方提供的加热芯。
作为布鲁斯扩散炉（BDF）的原始制造商BTU 提供按照原始设计规范制造的工厂级替换加热芯，确保您的炉子能够持续提供您的应用所需的温度均匀性和工艺一致性。
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美洲：1-800-998-0666 或 978-215-31591-800-998-0666 或 978-215-3159
欧洲：+44(0) 1252-660010
中国：+86-21-58669098
亚太地区：+65-741-4567
电子邮件：btupartsales@amtechsystems.com
包括零件编号、型号/序列号和数量
由原厂制造
BDF 加热芯是您水平扩散炉的“热力核心”。其几何结构、绕组模式和材料组合均专为 BDF 平台量身定制。仅仅“尺寸合适”的加热芯与性能卓越的加热芯截然不同——而在高温半导体工艺中，这种差异至关重要。
未雨绸缪，备好备件
加热芯是使用寿命有限的易耗部件。在水平扩散炉中，加热器意外故障会导致炉子停机——而在半导体制造领域，停机造成的损失十分高昂。更换加热芯所需的交货周期也不短。
建议使用布鲁斯扩散炉的工厂在现场至少备有一套原厂加热芯。备有备用件可让您：
- 应在产品寿命结束时立即更换，而非等待生产交货期
- 应在计划维护期间安排更换加热器，而非等到设备故障后再采取应对措施
- 避免加急费用和紧急采购
- 保障晶圆吞吐量和生产计划
- 尽量减少计划外的工艺重新认证事件
应用
OEM BDF加热芯适用于以下水平扩散炉工艺：
- 热氧化
- 退火
- 车载扩散
- 掺杂工艺
- LPCVD及相关高温处理
- 特种材料加工
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原始设计规范
按照与原厂设备相同的工程标准制造
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专为水平式扩散炉设计
与BDF平台相匹配的几何形状和热分布
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耐高温材料套装
专为扩散、氧化和退火环境而选
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优化热均匀性
减少更换后的漂移、变异性和重新认证风险
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即插即用兼容性
设计上无需修改即可适配现有的BDF炉硬件
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30余年的BDF设计专业经验
依托布鲁斯公司数十年来在卧式炉工程领域的专业知识
索取报价 请联系备件销售与支持部门，让BTU专家协助您为您的系统找到合适的备件。
请使用下方的表格联系我们的备件团队。为帮助我们确定正确的加热器配置，请提供您的炉具型号、序列号以及现有备件编号（如有）。如果您手头没有这些信息，我们将协助您确定合适的替换件。
美洲：1-800-998-0666 或 978-215-31591-800-998-0666 或 978-215-3159
欧洲：+44(0) 1252-660010
中国：+86-21-58669098
亚太地区：+65-741-4567
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