브루스(Bruce) 확산로용 OEM 교체용 히터 코어
전문가가 귀사의 시스템에 적합한 부품을 찾을 수 있도록 도와드립니다.
브루스 수평 확산로를 사용 중이라면, 해당 장비를 설계한 업체에서 제공하는 히터 코어를 사용해야 합니다.
브루스 확산로(BDF)의 원조 제조사인 BTU 원래 설계 사양에 따라 제작된 공장 제작 교체용 히터 코어를 공급하여, 귀사의 용도에 필요한 온도 균일성과 공정 일관성을 지속적으로 유지할 수 있도록 보장합니다.
전문가가 귀사의 시스템에 적합한 부품을 찾을 수 있도록 도와드립니다.
미주 1-800-998-0666 또는 978-215-3159
유럽: +44(0) 1252-660010
중국: +86-21-58669098
아시아/태평양: +65-741-4567
이메일: btupartsales@amtechsystems.com
포함: 부품 번호, 모델/일련 번호 및 수량
원제조사에서 제작
BDF 히터 코어는 수평 확산로(BDF)의 핵심 열원입니다. 이 제품의 형상, 권선 패턴 및 소재 구성은 BDF 플랫폼에 맞춰 특별히 설계되었습니다. 단순히 장착만 되는 히터 코어와 실제 성능을 발휘하는 히터 코어는 다르며, 고온 반도체 공정에서는 이러한 차이가 매우 중요합니다.
필요해지기 전에 여분을 준비해 두세요
히터 코어는 수명이 한정된 소모성 부품입니다. 수평 확산로에서 히터가 예기치 않게 고장 나면 로 가동 중단으로 이어지며, 반도체 제조 과정에서 가동 중단은 막대한 비용을 초래합니다. 또한 교체용 코어의 납기 기간도 결코 짧지 않습니다.
브루스 확산로(Bruce diffusion furnace)를 운영하는 시설은 현장에 최소한 하나의 OEM 히터 코어 예비 부품을 비치해 두는 것이 좋습니다. 예비 부품을 비치해 두면 다음과 같은 이점이 있습니다:
- 생산 리드 타임을 기다리기보다는 수명이 다하면 즉시 교체하십시오
- 고장이 발생한 후에 대응하기보다는 정기 점검 기간에 히터 교체를 계획하십시오
- 가급적 신속 처리 비용과 긴급 조달을 피하십시오
- 웨이퍼 처리량과 생산 일정을 보장하십시오
- 예기치 않은 공정 재검증 발생을 최소화하십시오
애플리케이션
OEM BDF 히터 코어는 다음과 같은 수평 확산로 공정을 지원합니다:
- 열 산화
- 어닐링
- 드라이브인 확산
- 도핑 공정
- LPCVD 및 관련 고온 처리
- 특수 소재 가공
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원본 설계 사양
원본 장비와 동일한 기술 표준에 따라 제조되었습니다
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수평 확산로 전용으로 설계됨
BDF 플랫폼에 최적화된 기하학적 구조 및 열 분포
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고온용 소재 세트
확산, 산화 및 어닐링 환경에 특화되어 선정됨
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최적화된 열 균일성
교체 후 편차, 변동성 및 재인증 위험을 줄임
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하위 호환성
기존 BDF 소각로 설비에 별도 개조 없이 바로 장착할 수 있도록 설계되었습니다
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30년 이상의 BDF 설계 노하우
수십 년에 걸친 브루스 수평로 엔지니어링 노하우를 바탕으로
견적 요청 부품 영업 및 지원팀에 문의하시면 BTU전문가들이 귀하의 시스템에 적합한 부품을 찾아드릴 수 있습니다.
부품 담당팀에 문의하시려면 아래 양식을 이용해 주십시오. 정확한 히터 사양을 파악할 수 있도록 보일러 모델명, 일련번호 및 확인 가능한 경우 기존 부품 번호를 기재해 주시기 바랍니다. 해당 정보를 즉시 확인하실 수 없는 경우에도, 고객님과 상의하여 적합한 교체 부품을 찾아드리겠습니다.
미주 1-800-998-0666 또는 978-215-3159
유럽: +44(0) 1252-660010
중국: +86-21-58669098
아시아/태평양: +65-741-4567
이메일: btupartsales@amtechsystems.com
포함: 부품 번호, 모델/일련 번호 및 수량
